Karter ekskawatory üçin hereketlendirijiniň basyş datçigi 2CP3-68 1946725

Aşakdaky ädimleri öz içine alýan basyş datçigini taýýarlamagyň usuly:

S1, arka ýüzüni we öň ýüzüni üpjün edýän; Wafliň öň tarapynda pizoresistiw zolak we gaty doply aragatnaşyk meýdany döretmek; Wafliň arka ýüzüni gysyp, basyş çuňlugyny emele getirmek;

Wafli arka tarapyna goldaw sahypasyny baglamak;

S3, wafliň öň tarapynda gurşun deşikleri we metal simler öndürmek we Wheatstone köprüsini emele getirmek üçin piezoresist zolaklary birleşdirmek;

S4, wafliň öň ýüzünde passiwasiýa gatlagyny goýmak we emele getirmek, we passiw gatlagyň bir bölegini açmak üçin demir pad meýdançasyny emele getirýär. 2. S1 aşakdaky ädimleri öz içine alýan 1-nji talap boýunça basyş datçiginiň önümçilik usuly: S11: arka ýüzüni we öň ýüzüni wafli bilen üpjün etmek we wafldäki basyşa duýgur filmiň galyňlygyny kesgitlemek; S12: wafliň öň ýüzünde ion implantasiýasy ulanylýar, piezoresist zolaklar ýokary temperaturaly diffuziýa prosesi bilen öndürilýär we aragatnaşyk sebitleri gaty doplanýar; S13: wafliň öň ýüzüne gorag gatlagyny goýmak we emele getirmek; S14: basyşa duýgur film döretmek üçin wafliň arka tarapynda basyş çuňlugyny emele getirmek we emele getirmek. 3. Wafli SOI bolan 1-nji talap boýunça basyş datçiginiň önümçilik usuly.

1962-nji ýylda Tufte we başgalar. Ilkinji gezek ýaýradylan kremniniň pizoresist zolaklary we kremniniň film gurluşy bilen piezoresistive basyş datçigini öndürdi we piezoresistive basyş datçigi boýunça gözleg işine başlady. 1960-njy ýyllaryň ahyrynda we 1970-nji ýyllaryň başynda üç tehnologiýanyň peýda bolmagy, ýagny kremniniň anizotrop emele getiriş tehnologiýasy, ion implantasiýa tehnologiýasy we anodiki baglanyşyk tehnologiýasy, basyş datçiginiň işleýşini gowulandyrmakda möhüm rol oýnan basyş datçigine uly üýtgeşmeler girizdi. . 1980-nji ýyllardan başlap, anizotrop efirlemek, daşbasma, diffuziýa doping, ion implantasiýasy, baglanyşyk we örtük ýaly mikromagnit tehnologiýasynyň mundan beýläk-de ösmegi bilen basyş datçiginiň ululygy yzygiderli azaldy, duýgurlyk ýokarlandy we çykyş ýokary we ýokary ýerine ýetiriş gaty gowy. Şol bir wagtyň özünde, täze mikromagnit tehnologiýasynyň işlenip düzülmegi we ulanylmagy filmiň basyş datçiginiň galyňlygyny takyk dolandyrýar.