Passat ýangyjynyň umumy demir basyş datçigi 06E906051K üçin ulanylýar

1. Basyş datçigini emele getirmegiň usuly:

Ondarymgeçiriji substraty üpjün etmek, onda ýarymgeçiriji substratda ilkinji interýer interýer dielektrik gatlagy, birinji interýer dielektrik gatlagy we ikinji interlayer dielektrik gatlagy emele gelýär.

Ilkinji interleýer dielektrik gatlagynda aşaky elektrod plastinka, aşaky elektrod plastinka bilen bir gatlakda ýerleşýän we biri-birinden aýrylan ilkinji özara elektrod.

Gatlaklary birleşdirmek;

Aşaky polýar plastinkanyň üstünde gurbanlyk gatlagyny emele getirmek;

Ilkinji aralyk dielektrik gatlagynda, ilkinji baglanyşyk gatlagynda we gurbanlyk gatlagynda ýokarky elektrod plastinkasyny emele getirmek;

Gurbanlyk gatlagyny emele getirenden soň we ýokarky tabagy emele getirmezden ozal, ilkinji baglanyşyk gatlagynda

Birikdiriş çukuryny emele getirmek we ilkinji baglanyşyk gatlagy bilen elektrik birikdirmek üçin birikme çukuryny ýokarky plastinka bilen doldurmak; , A-da

Upperokarky elektrod plastinkasyny emele getirenden soň, ýokarky elektrod plastinkasynda we ilkinji baglanyşyk gatlagynda birleşdiriji çukurlar emele gelýär.

Upperokarky elektrod plastinkasyny we birikdiriji çukurdaky ilkinji baglanyşyk gatlagyny birleşdirýän geçiriji gatlak emele getirmek;

Upperokarky plastinkany we ilkinji özara baglanyşyk gatlagyny elektrik bilen birleşdirenden soň, boşluk emele getirmek üçin gurban gatlagyny aýyryň.

2. Birinji gatlakdaky 1-nji talap boýunça basyş datçigini emele getirmegiň usuly

Aralyk dielektrik gatlagynda gurbanlyk gatlagyny emele getirmegiň usuly aşakdaky ädimleri öz içine alýar:

Gurluşyk material gatlagyny birinji gatlak dielektrik gatlagyna goýmak;

Gurbanlyk gatlagyny emele getirmek üçin gurban material gatlagyny nagyşlamak.

3. Fotolitografiýa we oýma ulanylýan 2-nji talap boýunça basyş datçigini emele getirmegiň usuly.

Gurbanlyk materialy gatlagy emele getirmek prosesi bilen nagyşlanýar.

4. Gurbanlyk gatlagy bolan 3-nji talap boýunça basyş datçigini emele getirmegiň usuly

Material amorf uglerod ýa-da germaniýdir.

5. Gurbanlyk gatlagy bolan 4-nji talap boýunça basyş datçigini emele getirmegiň usuly

Material amorf ugleroddyr;

Gurbanlyk material gatlagyny syzmak prosesinde ulanylýan gaz gazlaryna O2, CO, N2 we Ar degişlidir;

Gurbanlyk material gatlagyny emele getirmegiň parametrleri: O2 akym aralygy 18 SCCM ~ 22 SCCM, CO akymynyň tizligi 10%.

Akym tizligi 90 SCCM-den 110 SCCM-e, N2-iň akym tizligi 90 SCCM-den 110 SCCM-e çenli, Ar-nyň akym tizligi üýtgeýär.

Aralygy 90 SCCM ~ 110 SCCM, basyş aralygy 90 mtor ~ 110 mtor, ikitaraplaýyn güýç

540w ～ 660w。