Piezorresive Dwartçynyň gurluşy

Bu sensorda silikon sorçoryddon prosesi bolan integrasiýa prosesiniň kontiresi boýunça ölümçisiniň syrtyuny diwersiýa süpürrä, aýlawda kesgitlenýär we elektroka ewodro alyp barýan ýyllaryna gönükdirilýär. Güýçli-göni ýaýlym datçory diýsek-, Daşky gyssagly senteli bolan pieza garşy basyş Duýgurdan, ýöne Silikon difragmanyň üsti bilen gönüden-göni onuň ölçenen basyşy dipewenli basyş duýýar.

"ViFrawn" diafraganyň bir tarapy, ölçenilen basyş bilen aragatnaşyk saklaýan ýokary basyş edilýän ýokary basyşly boşlukdyr we beýleki tarap atmosfera bilen aragatnaşyk saklaýar. Umuman, kripnon diafrym, kesgitlenmedik perforgiki bolan tegelek bolup, iki sany çyra garşy durmak zolaklary ýerli derejede ýaýrady, ikisi gyssagly stritriki staktyň merkezine degişlilikde simmetrik stridkadyr diafragma.

Mundan başga-da, "Cr" dyndaşon diafragym we "Silikon sütüniňiz" bolýar. Şeýle hem krimetr silindr silindrli senatory dakylýan daglyk silişiň belli bir ugurda belli bir taraplaýyn çyra bilen ýüztki s.

PieziraraşveATy sensor ýarymgyş matasyny ýarymikultlaryň tirýektorynyň piezigurator materialyna görä ýarym maddy täsir edýän giňişlik degişlilikde hereket edýän enjamdyr. Onuň substerinasiýasy Ölçeg datçigi hökmünde gönüden-göni ulanylyp bilner we diffoziýa köpri görnüşinde köprüstleşdirilýär.

Subster daşarky güýje defortriýa deformasiýa edilende, Garaşsyzlyk gymmatlyklary üýtgeziler we köpri üýtgäp durulýan önüm öndürer. Skiezorervisti datçikleriniň (ýa-da diafrags) esasan küpekon wafli we nemes waflidir. Düşiýeleşelerimdäki kripmion wafleriniň ýaramazlaşmagy sebäpli kripli piezory Düşünjelere has köp basyş we tizligi ölçemek we tizligi ölçemek üçin gaty giň ulanylýar.