Piezoresistive datçigiň gurluşy

Bu datçikde rezistor zolagy, kremniniň pizoresistiki çipini öndürmek üçin integrasiýa prosesi bilen monokristally kremniy diafragma birikdirilýär we bu çipiň daş-töweregi gabykda berk gaplanýar we elektrod gurşunlary çykarylýar. Gaty ýagdaý basyş datçigi diýlip hem atlandyrylýan piezoresistiw basyş datçigi, elastik duýgur elementleriň üsti bilen daşarky güýji gytaklaýyn duýmaly, ýöne kremniý diafragma arkaly ölçenen basyşy gönüden-göni duýýan ýelimleýji ştamm ölçeginden tapawutlanýar.

Silikon diafragmanyň bir tarapy ölçenen basyş bilen aragatnaşyk saklaýan ýokary basyşly boşluk, beýleki tarapy bolsa atmosfera bilen aragatnaşyk saklaýan pes basyşly boşluk. Adatça, kremniniň diafragmasy durnuk periferiýa bilen tegelek görnüşde döredilip, diametriň galyňlyga bolan gatnaşygy takmynan 20 ~ 60 töweregi. Dört P haramlyga garşylyk zolaklary tegelek kremniniň diafragmasynda ýerli ýaýradylýar we ikisi doly köprä birikdirilýär. gysyjy stres zonasynda, galan ikisi diafragmanyň merkezine simmetrik bolan dartyş stres zonasynda.

Mundan başga-da, inedördül kremniniň diafragmasy we kremniniň sütün datçigi bar. Silikon silindr datçigi, şeýle hem kremniniň silindriniň kristal tekizliginiň belli bir ugruna diffuziýa arkaly garşylykly zolaklardan ýasalýar we iki sany dartyş stresine garşy zolak we iki gysyjy stres garşylykly zolak doly köpri emele getirýär.

Piezoresistive sensor, ýarymgeçiriji materialyň piezoresistiki täsirine görä ýarymgeçiriji materialyň substratyna diffuziýa garşylygy bilen öndürilen enjam. Onuň substraty gönüden-göni ölçeg datçigi hökmünde ulanylyp bilner we diffuziýa garşylygy substratda köpri görnüşinde birleşdirilýär.

Substrat daşarky güýç bilen deformasiýa edilende garşylyk bahalary üýtgär we köpri degişli deňagramsyz çykyş çykarar. Pizoresistiw datçikler hökmünde ulanylýan substratlar (ýa-da diafragmalar) esasan kremniý wafli we germaniý wafli. Duýgur materiallar hökmünde kremniý waflerden ýasalan kremniý pizoresistiki datçikler has köp ünsi özüne çekdi, esasanam basyşy we tizligi ölçemek üçin gaty berk pizoresistiw datçikler.