Ondarymgeçirijiniň basyş datçiklerini iki kategoriýa bölmek bolar, biri ýarymgeçiriji PN birikmesiniň (ýa-da şotki çatrygy) I-υ häsiýetleriniň stres astynda üýtgemegi ýörelgesine esaslanýar.Bu basyşa duýgur elementiň öndürijiligi gaty durnuksyz we kän bir ösdürilmedi.Beýlekisi ýarymgeçirijiniň basyş datçiginiň esasy dürlüligi bolan ýarymgeçirijiniň pizoresistiki täsirine esaslanýan datçikdir.Ilkinji günlerde ýarymgeçirijiniň ştamm ölçegleri esasan dürli stres we ştamm ölçeg gurallaryny ýasamak üçin elastik elementlere dakylýar.1960-njy ýyllarda ýarymgeçirijiniň integral zynjyr tehnologiýasynyň ösmegi bilen, piezoresistiw element peýda bolanda diffuziýa rezistory bolan ýarymgeçiriji basyş datçigi.Bu görnüşli basyş datçigi ýönekeý we ygtybarly gurluşa eýe, degişlilikde hereket edýän bölekler ýok we mehaniki yza galmakdan we süýşmekden gaça durýan we datçigiň işleýşini gowulandyrýan basyşa duýgur element we datçigiň elastik elementi birleşdirilen.

Ondarymgeçirijiniň pizoresistiki täsiri ýarymgeçirijiniň daşarky güýç bilen baglanyşykly häsiýeti bar, ýagny pizoresistiw effekti diýlip atlandyrylýan garşylyk bilen garşylyk (ρ nyşany bilen görkezilýär) üýtgeýär.Bölüm stresiniň täsiri astynda garşylyklylygyň otnositel üýtgemegine π nyşany bilen aňladylýan piezoresistiw koeffisiýent diýilýär.Matematiki taýdan ρ / ρ = π as hökmünde görkezilýär.

Nirede stressi aňladýar.Stressde ýarymgeçirijiniň garşylygy sebäpli dörän garşylyk bahasynyň (R / R) üýtgemegi esasan garşylygyň üýtgemegi bilen kesgitlenýär, şonuň üçin piezoresistiki täsiriň aňlatmasy R / R = as hökmünde hem ýazylyp bilner.

Daşarky güýjüň täsiri astynda ýarymgeçiriji kristallarda belli bir stres (σ) we ştamm (ε) emele gelýär we olaryň arasyndaky gatnaşyk materialyň Youngaş moduly (Y), ýagny Y = σ / ε bilen kesgitlenýär.

Piezoresistiw täsir ýarymgeçirijide ýüze çykýan dartyş bilen aňladylsa, R / R = Gε.

G basyş datçiginiň duýgurlyk faktory diýilýär, bu birlik ştammynda garşylyk bahasynyň otnositel üýtgemesini görkezýär.

Piezoresistive koeffisiýenti ýa-da duýgurlyk faktory ýarymgeçirijiniň piezoresistiki täsiriniň esasy fiziki parametridir.Olaryň arasyndaky gatnaşyk, edil stres bilen dartgynlygyň arasyndaky gatnaşyk ýaly, Youngaşyň materialyň moduly, ýagny g = π y bilen kesgitlenýär.

Çeýeliginde ýarymgeçiriji kristallaryň anizotropiýasy sebäpli, Youngaşyň moduly we piezoresistiw koeffisiýenti kristal ugry bilen üýtgeýär.Ondarymgeçirijiniň piezoresistiki täsiriniň ululygy ýarymgeçirijiniň garşylygy bilen hem ýakyn baglanyşyklydyr.Garşylyk näçe pes bolsa, duýgurlyk faktory şonça-da az bolýar.Diffuziýa garşylygyň piezoresistiki täsiri, kristal ugry we diffuziýa garşylygyndaky hapa konsentrasiýasy bilen kesgitlenýär.Hapa konsentrasiýasy esasan diffuziýa gatlagynyň üstündäki haramlyk konsentrasiýasyna degişlidir.